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不銹鋼風淋室半導體車間的應用

發布時間:2018-12-03

银河平台app下载地址潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,

银河平台app下载地址應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

银河平台app下载地址具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。

例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。

银河平台app下载地址直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。24um線性膨脹,所以必須有0。1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,

银河平台app下载地址是怕鈉的半導體車間因為人出汗以后,對產品將有污染,

不銹鋼風淋室特別特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產生的問題更多。

银河平台app下载地址相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。

風淋室標準功能配置及產品特,相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子?